DS300質(zhì)量流量控制器是針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。
DS300質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢
• 控制精度高，精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
• DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實(shí)現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理，*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。
DS300質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
DS300C | |
型號 | DS300C |
閥類型 | 常閉 |
流量規(guī)格(N2) | (0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
準(zhǔn)確度 | ±1% S.P. (≥10% F.S.) |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 0.5sec |
進(jìn)口壓力 | 240～450KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
出口壓力 | ≤1.2KPa 流量規(guī)格≤5SLM |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃； |
耐壓 | 3 MPa |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 | 金屬密封 |
大工作壓力 | 0.45MPa |
工作環(huán)境溫度 | （10～45）℃ |
輸入信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
輸出信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet |
零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 |
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) |
表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例≥2.0； |
表面粗糙度 | Ra 5μinch |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽接頭； |
電源接頭形式 | D型9針陽接頭； |
重量 | 1.2Kg |
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